| 发明名称 |
Method of forming an asymmetric, graded-channel semiconductor device using a disposable spacer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0763851(B1) |
申请公布日期 |
2002.02.13 |
| 申请号 |
EP19960113459 |
申请日期 |
1996.08.22 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
DOW, DIANN M.;DAVIES, ROBERT B.;WILD, ANDREAS A.;ILDEREM, VIDA |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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