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<p>스크린 프린팅(screen printing)을 이용한 마이크로 수동 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판상에 스크린 프린팅으로 강자성층, 페리자성체층을 순차적으로 형성하고 열처리하며, 그 위에 스크린 프린팅으로 도전선을 형성한 후, 도전선을 감싸도록 도전선 위에 스크린 프린팅으로 페리자성체, 강자성층상에 순차적으로 형성한 다음, 열처리하여 제작한다. 이와 같이, 스크린 프린팅법을 이용하여 마이크로 수동 소자를 제작하므로 공정이 간단하고 대량생산 및 집적화가 가능하므로 제품의 값이 싸다. 또한, 강자성체와 페리자성체가 도전선을 감싸는 구조로 형성하여 자성 물질의 투자율을 증가시키므로 마이크로 수동 소자의 특성을 향상시킨다.</p> |
