| 发明名称 |
Beleuchtungssystem und Methode, die einen deformierbaren Spiegel und beugende optische Elemente benutzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69614918(T2) |
申请公布日期 |
2002.01.17 |
| 申请号 |
DE19966014918T |
申请日期 |
1996.05.15 |
| 申请人 |
SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. |
发明人 |
STANTON, STUART |
| 分类号 |
G02B26/06;G02B27/48;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B26/06 |
主分类号 |
G02B26/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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