| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur in einem Substrat aus ferroelektrischem Einkristall |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69802727(D1) |
申请公布日期 |
2002.01.17 |
| 申请号 |
DE1998602727 |
申请日期 |
1998.03.02 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS, LTD. |
发明人 |
KAWAGUCHI, TATSUO;IMAEDA, MINORU |
| 分类号 |
G02B6/13;C30B29/30;C30B33/00;C30B33/10;G02F1/355;G02F1/37 |
主分类号 |
G02B6/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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