具有晶须探针的悬臂和制造该悬臂的方法

摘要

AFM/STM探针基于通过蒸汽－液体－固体(VSL)机制生长的晶须。由绝缘体上外延硅结构制备沿着晶面(111)取向的硅悬臂,所述绝缘体上外延硅结构含有在基片(100)上的一个薄层(111)并具有SiO₂夹层。在去除在上述生长机制中所固有的固化合金小球时,弄尖晶须,并以这样一种方式形成探针。通过上述机制在悬臂上所生长的晶须的剖面在生长过程期间可被控制改变,这使得可制备对于制备所述探针来说最佳的台阶形状的探针。还可形成具有展开部/收缩部的晶须,这些展开部/收缩部对于探针制备来说是重要的,该探针适于研究粗糙的表面、复杂的腔体、半导体微电子学中典型的槽、等等。

主权项

1.一种用于扫描探针装置的悬臂，该扫描探针装置含有一个硅支架、一根杆、和一个与该支架结合成一个整体并垂直于它的探针，其特征在于所述杆是由沿(111)取向的硅层来实现的；所述探针是由取向生长到所述杆上的晶须来实现的。