| 摘要 |
반도체기판상에 트랜지스터등의 기본소자를 형성하여 그위에 배선층을 복수적층하여, 기본소자를 접속하여 구성한 서브회로, 서브회로를 접속한 규모를 크게한 서브회로와, 순차 서브회로의 규모를 크게하는 동시에 복잡한 구성으로 하는 LSI의 제조방법에 있어서, 그 도중의 배선층이 형성된 상태에서 그때까지에 배선접속된 기본소자나 서브회로에 대하여, 전수시험, 기능시험, 축퇴고장시험, 정지전원 전류시험등을 행하고, 그후의 배선층의 형성마다 그 배선접속시험을 행한다. 고장검출율을 향상시켜, 시험코스트, 제조코스트를 삭감한다. |
