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发明名称 PRODUCING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5330872(A) 申请公布日期 1978.03.23
申请号 JP19760104829 申请日期 1976.09.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOZAKI WATARU;SUNAHARA KAZUO
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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