化学机械研磨垫

摘要

一种化学机械研磨垫，可显示研磨垫寿命，研磨垫有一研磨表面及多层颜色指示层，颜色指示层是由染色或压合嵌入于研磨表面内，各层颜色不同，距表面的深度不同，由其颜色变化来指示研磨垫的磨损程度，颜色层可由研磨垫本身染色或由性质相近的材料制成，其大小以肉眼能辨识即可，且数目不限，可位于研磨表面同一或不同的俯视位置，多层颜色指示层也可以指示剂色条来取代，其材料为氧化／还原指示剂或是酸碱指示剂。

主权项

1.一种化学机械研磨垫，可自我寿命显示，其特征在于，该研磨垫包括：一研磨垫主体，该研磨垫主体为一圆盘状结构，且该研磨垫主体具有一表面；以及一多层颜色指示层，嵌入于该研磨垫主体的该表面内，该多层颜色指示层在该表面下的深度大于一固定厚度，该固定厚度小于该研磨垫主体的厚度，且该多层颜色指示层包括多个颜色层，该各颜色层的颜色均不相同，且距该表面的深度也不相同。