| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING ANTISTATIC INTEGRATED CIRCUIT TRAYS OF POLYMER MATERIALS USING ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG85145(A1) |
申请公布日期 |
2001.12.19 |
| 申请号 |
SG19990005384 |
申请日期 |
1999.10.29 |
| 申请人 |
BOK-HWAN OH;HO-JUN KIM |
发明人 |
JIN-CHEOL KIM;KIM HO-JUN;OH BOK-HWAN |
| 分类号 |
H01L21/50;B29C35/08;B29C59/16;C23C14/48;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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