发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING COPPER ALLOY INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010105461(A) 申请公布日期 2001.11.29
申请号 KR20000024536 申请日期 2000.05.09
申请人 LEE, JAE GAB 发明人 CHO, HEUNG RYEOL;LEE, JAE GAB;PARK, SANG GI
分类号 (IPC1-7):H01L21/24 主分类号 (IPC1-7):H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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