| 摘要 |
一种X射线光谱分析仪,具有一用以观测一样本表面之机构,以供经由在一室2内照射X射线4于一样本3上而分析该样本3,包括:用以观视通过之样本的一观视器装置ll;及一用以照明一样本3表面之照明机构31,经由倾斜地照射一照明光线B在样本3之表面上,而抑制入射在观视器装置ll上之来自照明光线B的反射光。以该一构造,在维持样本3设定在X射线光谱分析仪l内之情况,可于暗视场下,由观视器装置ll清晰地观测样本表面上之受污染部份、剩余等之形状。 |
| 主权项 |
1.一种X射线光谱分析仪,用以经由在一室内照射X射线于一样本上而分析该样本,具有用以观测通过之一样本表面之机构,包括:用以观视通过之样本的一观视器装置;及一用以照射一样本表面之照明机构,经由倾斜地照射一照明光线在该样本之表面上,而抑制入射在该观视器装置上之来自照明光线的反射光。2.如申请专利范围第1项之具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪,其中,进一步包括一移动机构,用以移动样本至少在X射线被照射于其上的一X射线照射位置与进行一观视的一观视位置之间,及一位置指示器机构,用以指示其上之样本上的观视位置。3.如申请专利范围第1项之具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪,其中,该观视器装置包括一影像拾取元件,用以取得该样本表面之图像,以使输出一电信号之视频信号。4.如申请专利范围第1项之具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪,其中,进一步包括一被置于来自该照明机构之照明光线的一光路上之照明调整机构,用以调整相关于样本的照明光线之至少一照明方向与照明角度。5.如申请专利范围第2项之具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪,其中,进一步包括一被置于来自该照明机构之照明光线的一光路上之照明调整机构,用以调整相关于样本的照明光线之至少一照明方向与照明角度。6.如申请专利范围第3项之具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪,其中,进一步包括一被置于来自该照明机构之照明光线的一光路上之照明调整机构,用以调整相关于样本的照明光线之至少一照明方向与照明角度。图式简单说明:第一图系一般结构图,显示依据本发明之一实施例的具有用以观测一样本表面之机构的X射线光谱分析仪;第二图系一放大横剖面图,用以显示相同X射线光谱分析仪之必要部份;第三图系一平面图,用以显示在相同X射线光谱分析仪中之纤维的尖梢部份之分布状况;第四图系在相同X射线光谱分析仪中之一环的立体图;及第五图系一用以显示样本表面之观测的图形,其系由相同X射线光谱分析仪所获致。 |
