| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für selbstausgerichtete lokale interne Verbindungen und Kontakte |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19814869(C2) |
申请公布日期 |
2001.10.04 |
| 申请号 |
DE1998114869 |
申请日期 |
1998.04.02 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORP., HSIN-CHU |
发明人 |
SUN, SHIH-WEI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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