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发明名称 Oberflächenbehandlungsmittel und Oberflächenbehandlung von Halbleiter
摘要
申请公布号 DE69520296(T2) 申请公布日期 2001.09.06
申请号 DE19956020296T 申请日期 1995.01.09
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 HAYASHIDA, ICHIRO;KAKIZAWA, MASAHIKO
分类号 C11D3/32;C11D3/39;C11D11/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;C23G1/14;C11D1/00 主分类号 C11D3/32
代理机构 代理人
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