| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT PAR PLASMA A LA RESONANCE CYCLOTRON ELECTRONIQUE DE COUCHES DE TISSUS DE NONOFIBRES DE CARBONE ET COUCHES DE TISSUS AINSI OBTENUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2795906(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.17 |
| 申请号 |
FR19990008473 |
申请日期 |
1999.07.01 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELAUNAY MARC;SEMERIA MARIE NOELLE |
| 分类号 |
H05H1/46;C01B31/02;C23C16/26;H01J9/02;H01J29/04;H01J31/12;H01J37/32;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/46;H01J9/12;H01J29/02;B82B3/00 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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