利用大的等效波长测量物体表面轮廓的方法及系统

摘要

一种利用减感干涉装置的减感干涉条纹对位于合适距离处的物体表面测量轮廓的方法和系统，通过使物体相对于干涉装置位移而同时把数据记录在电子存贮器内来产生干涉装置视场内的一个或多个图象点或象素的数据。强度随扫描位置而变化可以被描述为一个与等效波长有关的近似振荡信号，强度变化受到限制干涉效应在等效相干长度范围内的信号包络的调制。干涉图的阵列由计算机分析，测定相应于每个图象象素的表面高度。

主权项

1．一种利用减感干涉装置的减感干涉条纹对物体表面测量轮廓的方法，包括下述步骤：利用具有相关波长的光源照明所述的减感干涉装置，提供所述的减感干涉条纹，所述的减感干涉装置其所具有的等效波长大于所述光源的相关波长并具有一个相关的等效相干长度；在所述减感干涉装置的视场内产生至少一个图象象素的测量数据，这种产生数据是通过使所述的物体相对于减感干涉装置位移而提供一个随扫描位置变化的强度改变来实现的，所述强度改变构成一个与所述等效波长有关的信号，该强度改变受到一个使任何干涉效应限制在等效相干长度范围内的等效相干信号包络的调制；所述的信号相应于所述的干涉条纹，所述的等效相干包络相应于所述条纹的条纹反差；分析所述的测量数据，以测定相当于每个所述图象象素的表面高度。