发明名称 ARRANGEMENT FOR STORING OBJECTS, PARTICULARLY FOR STORING DISKLIKE OBJECTS SUCH AS WAFERS, FLAT PANELS OR CDs
摘要
申请公布号 KR20010071468(A) 申请公布日期 2001.07.28
申请号 KR1020007014147 申请日期 2000.12.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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