METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING GAS FLOW

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft ein Gasströmungs-Bestimmungsverfahren sowie eine entsprechende Gasströmungs-Bestimmungsvorrichtung. Es erfolgen ein Bereitstellen einer Sensoreinrichtung (SE) mit einer Membran (M) und einer diese umgebenden Einfassung (EF); ein Schaffen eines vorbestimmten Temperaturprofils auf der Membran (M); ein Leiten der zu bestimmenden Gasströmung in einer vorbestimmten Strömungsrichtung (S) über die Membran (M); ein Erfassen der durch die Gasströmung verursachten Änderung des Temperaturprofils; und ein Bestimmen der Gasströmung anhand der erfassten Änderung. Insbesondere erfolgt ein Regeln der Temperatur an einem dritten Ort auf der Membran (M) stromaufwärts des ersten Orts und optionellerweise an einem vierten Ort stromabwärts des zweiten Orts auf einen Wert entsprechend dem lokalen Wert des vorbestimmten Temperaturprofils. So kann der Einfluss von Verunreinigungen auf der Membran (M) effektiv minimiert werden.