| 摘要 |
Ein Winkelgeschwindigkeitssensor umfaßt ein Substrat, ein erstes Schwingelement, das durch einen ersten Tragebalken auf dem Substrat getragen ist, derart, daß es in eine Richtung parallel zu dem Substrat in eine Schwingung versetzt werden kann, ein zweites Schwingelement, das durch einen zweiten Tragebalken, der parallel zu dem ersten Schwingelement ist, getragen ist, derart, daß es in eine Richtung, die orthogonal zu der Schwingungsrichtung des ersten Schwingelements ist, in eine Schwingung versetzt werden kann, eine Schwingungserzeugungseinrichtung, um das erste Schwingelement parallel zu dem Substrat in eine Schwingung zu versetzen, eine Winkelgeschwindigkeitserfassungseinrichtung, um den Betrag einer Verschiebung des zweiten Schwingelements aufgrund einer Winkelgeschwindigkeit zu erfassen, und eine Schwingungszustandsüberwachungseinrichtung, die zwischen dem Substrat und dem ersten Schwingelement vorgesehen ist, um den Betrag einer Verschiebung des ersten Schwingelements zu überwachen, wenn dasselbe durch die Schwingungserzeugungseinrichtung in eine Schwingung versetzt ist.
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