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发明名称 VERGRÖSSERUNGSKORREKTURSYSTEM FÜR DIE ABTASTUNG EINES KLEINEN FELDES
摘要
申请公布号 DE69613218(D1) 申请公布日期 2001.07.12
申请号 DE19966013218 申请日期 1996.03.19
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 ALLEN, C.;VOISIN, D.
分类号 G02B13/08;G02B15/14;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 主分类号 G02B13/08
代理机构 代理人
主权项
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