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发明名称
摘要
申请公布号
JP3173462(B2)
申请公布日期
2001.06.04
申请号
JP19980160807
申请日期
1998.06.09
申请人
发明人
分类号
H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
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