| 摘要 |
반도체 웨이퍼 카세트 맵퍼가 웨이퍼 카세트의 특정된 상응하는 슬롯쌍내에 반도체 웨이퍼가 존재하는 지의 여부뿐 아니라 웨이퍼가 상응하는 한 슬롯쌍내에 정렬되 있지 않은 크로스 슬롯트된 상태를 탐지한다. 이같은 웨이퍼 카세트 맵퍼는 스탠다드의 슬롯에 끼워진 웨이퍼 카세트를 수용하기 위한 베이스 부재를 포함하며, 이 베이스부재는 그 맞은편 측면에서 송신기와 수신기 모듈을 포함한다. 송신기와 수신기 모듈은 같은 다수의 내향하여 마주하여 정렬된 광선구멍을 포함한다. 송신기 모듈내의 광선구멍 각각은 광 방출 적외선 송신기 포함하며, 수신기 모듈내의 광선구멍 각각은 하나의 적외선 수신기를 포함한다. 제어회로는 선택적으로 일정한 시간동안 광방출 송신기를 작동시키며 특정 수신기가 선택된 송신기에 의해 송신된 광선을 수신하였는가를 결정하도록 그와 같은 일정 시간동안 적외선 수신기를 조사한다. 다음에는 논리회로가 이같은 정보를 처리하여 특정된 웨이퍼 위치가 비어있는지 그리고 크로스 슬롯트된(cross slotted) 상태가 존재하는가를 결정하도록 한다. |
