发明名称 |
MATERIAL MEASURE AND POSITION MEASURING DEVICE COMPRISING SUCH A MATERIAL MEASURE |
摘要 |
Es wird eine Massverkörperung sowie eine Positionsmesseinrichtung mit einer derartigen Massverkörperung angegeben. Die Massverkörperung umfasst alternierend in mindestens einer Richtung angeordnete Teilbereiche unterschiedlicher optischer Eigenschaften und besteht aus einem Trägersubstrat, auf dessen Oberfläche mindestens eine Spur mit ersten photolumineszierenden, porösen Teilbereichen und zweiten nicht-photolumineszierenden Teilbereichen angeordnet ist. Zur Positionsmesseinrichtung gehört desweiteren eine relativ gegenüber der Massverkörperung bewegliche Abtasteinheit, die ein oder mehrere optoelektronische Detektorelemente sowie eine Lichtquelle umfasst, die die Massverkörperung mit einer Strahlung einer Wellenlänge beaufschlagt, die zur Anregung der Photolumineszenz in den photolumineszierenden ersten Teilbereichen geeignet ist.
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申请公布号 |
WO0138829(A1) |
申请公布日期 |
2001.05.31 |
申请号 |
WO2000EP11168 |
申请日期 |
2000.11.11 |
申请人 |
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH;WEIDMANN, JOSEF;SPECKBACHER, PETER |
发明人 |
WEIDMANN, JOSEF;SPECKBACHER, PETER |
分类号 |
G01D5/30;G01D5/26;G01D5/347;G01D5/36;(IPC1-7):G01D5/347 |
主分类号 |
G01D5/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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