发明名称 METHOD FOR FABRICATING A MOS DEVICE
摘要
申请公布号 SG80665(A1) 申请公布日期 2001.05.22
申请号 SG19990006672 申请日期 1999.12.30
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 LAP CHAN;ANG TING CHEONG;QUEK SHYUE FONG;LOONG SANG YEE
分类号 H01L21/336;H01L21/762;H01L29/417;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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