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<p>Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Bearbeitung von Wafern mit mehreren Fertigungseinheiten (2) und Messeinheiten (3) sowie einem Transportsystem zum Transport der Wafer. Dem Transportsystem ist eine Transportsteuereinheit (9) zugeordnet, welche Mittel zur Erfassung des Auslastungszustands der Anlage und Mittel zur Speicherung der Bearbeitungsreihenfolge der Wafer aufweist. In Abhängigkeit dieser Parameter werden in der Transportsteuereinheit (9) Steuerbefehle generiert und sind an das Transportsystem zur Steuerung des Ablaufs des Transports der Wafer ausgebbar.</p> |
