发明名称 Vaporizer apparatus
摘要
申请公布号 EP0808916(B1) 申请公布日期 2001.04.11
申请号 EP19970108398 申请日期 1997.05.23
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HORIE, KUNIAKI;OGURE, NAOAKI;FUKUNAGA, YUKIO;HONGO, AKIHISA
分类号 C23C16/448;B01D1/00;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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