| 摘要 |
本发明揭示一种具有图型以减低步进器功率的光罩。该省能光罩(energy-saving photomask)包含：至少一第一图型区，光可在此区穿过该光罩而没有绕射；及一第二图型区，其中形成多数细微点型，以此做为光绕射过之缝隙，使得照射到第一图型区，并且绕射到除了在第一图型区下侧不具有足够能量显影全部感光膜之区域的光能量增加。经由辅助图型，入射在光罩上之光能，可在所期望部份增多，因为光经过该辅助图型之绕射，促进在所期望部份之光强度，而没有严重影响其他部份。该光罩其造成处理时间之减少，可有效延长步进器中电灯之使用寿命，以及使用具有低功率之步进器。 |
