| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR LINEAR POSITIONING AND POSITION DETECTION OF A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1084599(A2) |
申请公布日期 |
2001.03.21 |
| 申请号 |
EP19990929033 |
申请日期 |
1999.04.27 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WACKER, JOSEF |
| 分类号 |
F16D69/00;F16B1/00;F16B2/00;F16B4/00;H05K13/04;(IPC1-7):H05K13/00 |
主分类号 |
F16D69/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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