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发明名称
Method and apparatus for detecting the endpoint of a chemical-mechanical polishing operation
摘要
申请公布号
US6179688(B2)
申请公布日期
2001.01.30
申请号
US09/271072
申请日期
1999.03.17
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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