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发明名称
CVD REACTOR AND USE THEREOF
摘要
申请公布号
KR20010006524(A)
申请公布日期
2001.01.26
申请号
KR1019997009614
申请日期
1999.10.18
申请人
发明人
分类号
C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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