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<p>본 고안은 약액 감지센서 클램핑 장치에 관한 것으로, 본 고안은 반도체 제조 장비에 사용되는 약액이 흐르는 관의 형태로 된 약액 튜브의 외주면에 약액 튜브의 내부를 흐르는 약액의 유무를 감지하기 위한 약액 감지센서와, 상기 약액 감지센서의 전방 양측에 체결되는 클램프 프레임과, 상기 클램프 프레임의 전방에 형성된 체결공을 관통하는 스크류축과, 상기 클램프 프레임 내의 스크류축에 설치되어 탄성력을 부여하기 위한 스프링과, 상기 약액 튜브를 감싸는 지지홈이 형성되어 약액 튜브의 외주면과 밀착 및 이격되는 클램프 블록과, 상기 클램프 프레임 외부의 스크류축 타단에 설치되어 회전시킴에 따라 스크류축과 클램프 블록을 전진 및 후진시키기 위한 고정 너트로 구성된 것을 그 특징으로 한다. 따라서, 여러 가지 사이즈의 약액 튜브에 한 모델의 약액 감지센서를 용이하게 클램핑시켜 공용으로 사용할수 있어서 약액 감지센서 고장시의 교체 시간의 단축 및 장비의 가동률을 향상시켜 생산성을 증대시킬수 있으며, 사용 부품을 각 모델별로 확보 및 구입하지 않아도 되므로 제작 단가를 절감시킬수 있게 된다.</p> |
