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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69703600(D1) 申请公布日期 2001.01.04
申请号 DE1997603600 申请日期 1997.05.21
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 NIHONMATSU, TAKASHI;OSUGA, MAKOTO
分类号 B24B9/06;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
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