发明名称 Method for forming a storage node in a semiconductor memory
摘要
申请公布号 GB2313709(B) 申请公布日期 2001.01.03
申请号 GB19970011312 申请日期 1997.05.30
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TOSHIYUKI * HIROTA
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/283;H01L21/320;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址