| 发明名称 |
PHOTOMASK CASE, CONVEYING DEVICE, AND CONVEYING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1022615(A4) |
申请公布日期 |
2001.01.03 |
| 申请号 |
EP19980938953 |
申请日期 |
1998.08.24 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
HIRAKAWA, SHINICHI;NAKAHARA, KANEFUMI;ENDO, YUTAKA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/673;(IPC1-7):G03F1/14;H01L21/68;H01L21/027;B65G49/07;H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
