发明名称 薄圆盘状物体之运送装置
摘要 本发明关于一种薄圆盘状物体之运送装置。
申请公布号 TW415912 申请公布日期 2000.12.21
申请号 TW087120526 申请日期 1998.12.10
申请人 SEZ半导体设备卒贝哈哈伯特佛亭格公司 发明人 威利伯德皮克
分类号 B65G51/00 主分类号 B65G51/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种薄圆盘状物体(60)之运送装置,其特征如下:1.1 一支撑件(10),其具有一平坦表面(12);1.2 一或多个位于该支撑件(10)中之燃气管道(20),其以向外倾斜方式朝向平坦表面,一端终止于平坦表面(12)中之燃气出口,另一端连接至燃气供给管(28);与1.3 至少三个导引臂(30),其在外侧边处与燃气出口相邻配置,其伸展越过该支撑件(10)之平坦表面(12)并可相对于平坦表面(12)径向调整。2.根据申请专利范围第1项之装置,其特征在一两件式之支撑件(18,22),以及一位于该支撑元件(18,22)之间的窄缩环状间隙(20)。3.根据申请专利范围第1项之装置,其特征在一单件式支构件,该支撑件具有复数个燃气管道以相互间隔开且相对于支撑件(10)纵向中间轴线(M)旋转对称方式配置。4.根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该支撑臂(30)以相对于支撑件(10)纵向中间轴线(M)旋转对称方式配置。5.根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该支撑臂(30)连接至支撑件(10)且皆由第一内侧部位(32)与外侧部位(36)组成,该内侧部位(32)以垂直于支撑件(10)纵向中间轴线(M)之方向自支撑件(10)处伸展,该外侧部位(36)连接至内侧部位(32)之自由端(34),其伸展超越支撑件(10)之平坦表面(12)。6.根据申请专利范围第5项之装置,其特征在该支撑臂(30)之外侧部位(36)以平行于支撑件(10)之纵向中间轴线(M)伸展。7.根据申请专利范围第5项之装置,其特征在该外侧部位(36)为圆柱状。8.根据申请专利范围第5项之装置,其特征在该外侧部位为球形轮廓。9.根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该支撑臂自燃气管道外侧平坦表面之边缘部位处伸展。10.根据申请专利范围第9项之装置,其特征在该支撑臂至少在其自由端处为圆柱状或球状。11. 根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该支撑臂(30)可朝向支撑件(10)之纵向中间轴线(M)移动。12. 根据申请专利范围第11项之装置,其特征在该支撑臂(30)可朝向支撑件(10)之纵向中间轴线(M)枢转。13. 根据申请专利范围第11项之装置,其特征在该支撑臂(30)承受着一拉伸作用。14. 根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该支撑件(10)具有一圆形平坦表面(14,16)。15. 根据申请专利范围第1项之装置,其特征在该燃气管道在燃气出口区域中为细孔状。
地址 奥地利