| 发明名称 |
Determination of actual defect size in cathode sputter tar gets subjected to ultrasonic inspection |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0026323(D0) |
申请公布日期 |
2000.12.13 |
| 申请号 |
GB20000026323 |
申请日期 |
2000.10.30 |
| 申请人 |
PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B17/00;C23C14/34;G01N29/04;G01N29/11;G01N29/30;G01N29/44;H01L21/203 |
主分类号 |
G01B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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