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发明名称 METAL SELECTIVE POLYMER REMOVING METHOD
摘要
申请公布号 KR100270416(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19930017595 申请日期 1993.09.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED;FSI INTERNATIONAL,INC. 发明人 DANIEL, SIVERSON;BRINNEKAY, BOHANON
分类号 H01L21/027;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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