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发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
KR100272644(B1)
申请公布日期
2000.12.01
申请号
KR19940022669
申请日期
1994.09.09
申请人
SONY CORPORATION
发明人
KADOMURA, SHINGO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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