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发明名称 LITHOGRAFIE ODER DÜNNSCHICHT MODIFIZIERUNG
摘要
申请公布号 DE69516528(T2) 申请公布日期 2000.11.23
申请号 DE19956016528T 申请日期 1995.08.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 BIEBUYCK, ANDRE;MICHEL, BRUNO
分类号 B41K1/02;B41F31/18;B41K1/00;C23F1/00;G03F7/00;H01L21/306;H01L21/768;(IPC1-7):B41K1/00;B41C1/02 主分类号 B41K1/02
代理机构 代理人
主权项
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