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发明名称 WET PROCESSING APPARATUS WITH MOVABLE PARTITIONING PLATE BETWEEN TWO PROCESSING CHAMBERS
摘要
申请公布号 KR100268819(B1) 申请公布日期 2000.10.16
申请号 KR19970050712 申请日期 1997.09.30
申请人 NEC CORPORATION 发明人 YAMASAKI, SHINYA
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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