| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ENHANCED CLEANING OF A WORKPIECE WITH MECHANICAL ENERGY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1034562(A1) |
申请公布日期 |
2000.09.13 |
| 申请号 |
EP19980959463 |
申请日期 |
1998.11.17 |
| 申请人 |
SPEEDFAM-IPEC CORPORATION |
发明人 |
SHURTLIFF, ERIC, C. |
| 分类号 |
B08B1/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B08B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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