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发明名称 METHOD FOR PRODUCING POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITIONS WITH LOW METAL IONS P-CRESOL OLIGOMERS
摘要
申请公布号 EP0800665(B1) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 EP19950944518 申请日期 1995.12.21
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 RAHMAN, M., DALIL;KHANNA, DINESH, N.;AUBIN, DANIEL, P.;MCKENZIE, DOUGLAS
分类号 G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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