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发明名称 LASER-ILLUMINATED STEPPER OR SCANNER WITH ENERGY SENSOR FEEDBACK
摘要
申请公布号 EP1010040(A1) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 EP19980939150 申请日期 1998.07.31
申请人 CYMER, INC. 发明人 SANDSTROM, RICHARD, L.;DAS, PALASH, P.;FOMENKOV, IGOR, V.;BESAUCELE, HERVE, A.;OZARSKI, ROBERT, G.
分类号 H01S3/134;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/104;H01S3/225;(IPC1-7):G03B27/42;G03B27/54;G03B27/60;G03B27/72;H01S3/10;H01S3/18 主分类号 H01S3/134
代理机构 代理人
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