发明名称 Methode zur Reduzierung des Leckstroms in Dünnfilmtransistoren
摘要
申请公布号 DE69420499(T2) 申请公布日期 2000.05.18
申请号 DE1994620499T 申请日期 1994.09.30
申请人 GENERAL ELECTRIC CO., SCHENECTADY 发明人 KWASNICK, ROBERT FORREST;POSSIN, GEORGE EDWARD
分类号 H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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