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发明名称 METHOD FOR WASHING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 EP0998751(A1) 申请公布日期 2000.05.10
申请号 EP19980937071 申请日期 1998.07.21
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 IKEDA, KIYOTOSHI;KURODA, KIYOSHI
分类号 B08B3/08;H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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