发明名称 Plasmabehandlungsverfahren und -vorrichtung
摘要
申请公布号 DE69515626(D1) 申请公布日期 2000.04.20
申请号 DE19956015626 申请日期 1995.12.28
申请人 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 SAKEMI, TOSHIYUKI;TANAKA, MASARU
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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