| 主权项 |
1.一种基质运输设备,包含:一机器人运输臂;及一位于机器人运输臂上之一基质对准器。2.如申请专利范围第1项之基质运输设备,其中之基质对准器构成一末端效控器之一部分,该效控器位于供抓住一基质之机器人运输臂之远端。3.如申请专利范围第2项之基质运输设备,其中之末端效控器包含一可旋转之夹盘以旋转支撑基质于其上。4.如申请专利范围第3项之基质运输设备,其中之基质对准器尚包含旋转夹盘之装置。5.如申请专利范围第4项之基质运输设备,其中之夹盘旋转装置包含一个安装在运输臂上之伺服马达及一传动器,其自伺服马达延伸至夹盘。6.如申请专利范围第4项之基质运输设备,其中之基质对准器包含一编码器以信号通知夹盘之旋转位置。7.如申请专利范围第6项之基质运输设备,其中之基质对准器有一侦感器以侦测基质之一边缘。8.如申请专利范围第7项之基质运输设备,其中之侦感器位于机器人运输臂上,故在基质被末端效控器抓住时,基质之外围之一部分位于侦感器之上。9.如申请专利范围第1项之基质运输设备,其中之运输臂包含一嵌接臂总成并有二个成串联之臂部分。10.一种基质运输设备,包含:一机器人运输臂,具有一末端效控器以抓住基质;及一装置,供在基质由末端效控器抓住时,将基质与运输臂对准。11.如申请专利范围第10项之基质运输设备,其中之末端效控器包含一可旋转之夹盘以支撑基质于其上。12.如申请专利范围第11项之基质运输设备,其中之将基质与末端效控器对准之装置包含一装置以旋转支撑基质之夹盘。13.如申请专利范围第12项之基质运输设备,其中旋转夹盘之装置包含一具有传动器之伺服马达以驱动夹盘。14.如申请专利范围第12项之基质运输设备,其中尚包含一装置供将基质之旋转位与夹盘之旋转位发生关联,此关联用装置包含一编码器以决定夹盘之旋转位置,加码器与侦测由末端效控器抓住之基质之一边缘之侦感器共同动作。15.一种基质运输设备,包含:一机器人运输臂;及一位于机器人运输臂上末端效控器,其有一可转之夹盘以旋转抓住一基质于其上;其中之机器人运输臂有一侦感器以侦测基质之一边缘。16.如申请专利范围第15项之基质运输设备,尚包含一个在机器人运输臂上之伺服马达,此伺服马达以驱动方式由一带驱动连接在旋转夹盘上。17.如申请专利范围第16项之基质运输设备,其中之伺服马达有一其上之编码器以决定伺服马达之相关旋转、及夹盘之相关旋转。18.一种供由机器人运输臂移动基质之方法,包含以下各步骤:将基质固定在机器人运输臂上;移动机器人运输臂;及将基质与机器人运输臂作相对转动。19.如申请专利范围第18项之移动基质方法,其中旋转基质之步骤包含侦测出基质与机器人运输臂之相对旋转位置。20.如申请专利范围第18项之移动基质方法,其中旋转基质之步骤包含决定与运输臂相对之基质旋转。21.一种供当基质自第一位置移动至第二位置时将其作移动对准之方法,此方法含下列步骤:在第一位置以一机器人运输臂抓住基质;以机器人运输臂将基质自第一位置移动至第二位置;及当基质自第一位置被移动至第二位置时,将基质与机器人运输臂作相对旋转以对准基质。22.如申请专利范围第21项之对准基质方法,其中移动基质之步骤包含在第一位置将基质自第一室取出。23.如申请专利范围第21项之对准基质方法,其中移动基质之步骤包含将基质插入在第二位置之第二室。24.一种基质运输设备,包含:一机器人运输臂,具有一末端效控器以抓住基质;一装置,当基质被末端效控器抓住时以旋转移动在末端效控器上之基质;及一电脑控制器,连接至移动装置以控制在末端效控器上基质之旋转。25.如申请专利范围第24项之基质运输设备,尚包含一编码器,以信号通知电脑控制器在末端效控器上之基质之旋转。26.如申请专利范围第24项之基质运输设备,尚包含一侦感器,以侦测出在末端效控器上基质之旋转位置。图式简单说明:第一图为并入本发明特性供将基质运输进入及移出一处理装置之一设备之示意顶部平面图。第二图为第一图中所示之设备之机器人运输臂之部分透视图。 |
