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发明名称
摘要
申请公布号
JP3031117(B2)
申请公布日期
2000.04.10
申请号
JP19930131891
申请日期
1993.06.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/22;H01L21/266;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/74
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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