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发明名称 HEAT TREATMENT METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0986826(A1) 申请公布日期 2000.03.22
申请号 EP19990911878 申请日期 1999.04.06
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MALEVILLE, CHRISTOPHE;BARGE, THIERRY;ASPAR, BERNARD;MORICEAU, HUBERT;AUBERTON-HERVE, ANDRE-JACQUES
分类号 H01L21/324;H01L21/762;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/322;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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