| 发明名称 |
Reaction force isolation system for a planar motor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU5674399(A) |
申请公布日期 |
2000.03.06 |
| 申请号 |
AU19990056743 |
申请日期 |
1999.08.12 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
ANDREW J. HAZELTON;YUTAKA HAYASHI;KEIICHI TANAKA;NOBUKAZU ITO |
| 分类号 |
G12B5/00;F16F15/02;G03F7/20;G03F9/00;G12B9/08;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/03 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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