一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法

摘要

本发明公开一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法，在具有氮化钛薄膜的基础上，以惰性气体或氧离子为增强离子束，在压力为２—１７×１０^-4的氧气环境下，钛以蒸发或溅射方式沉积于人工器官材料表面，形成氧化钛和氮化钛复合膜。经本发明所述方法处理获得的人工器官的血液相容性，抗疲劳，抗腐蚀和耐磨损的性能得到全面提高，主要用于人工器官的表面处理。

主权项

1、一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法，其特征在于：在人工器官表面具有氮化钛膜的基础上，以氧为气氛环境，压力为2-17×10-4Pa，钛以蒸发方式沉积于人工器官材料表面，蒸发速率为1.0-7.0/s，以惰性气体或氧离子为增强离子束，其能量为5-40keV，密度为5-40μA/cm2，形成氧化钛和氮化钛复合膜。